博鱼app专利摘要显示,提供了半导体器件和制造半导体器件的方法。所述制造半导体器件的方法包括:在衬底上形成掩模层博鱼app、第一分离层博鱼app、第一芯模层、第二分离层和第二芯模层;对第二芯模层进行图案化以形成第二芯模图案;在第二芯模图案上形成第一间隔物;去除第二芯模图案;对第二分离层和第一芯模层进行图案化以形成第一结构;在第一结构和第一分离层上形成第二间隔物层;各向异性地蚀刻第二间隔物层博鱼app博鱼app,以在第一结构上形成第二间隔物,并在第一结构上形成第一虚设图案和对准关键图案;以及在第一分离层上旋转涂布旋涂硬掩模层,其中,旋涂硬掩模层覆盖第一结构、第一虚设图案和对准关键图案博鱼app。
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